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title: "Lehrstuhl Photonics and Ultrafast Laser Science der RUB und RayVen erhalten EIC Pathfinder-Förderung in Bochum; 3 Mio Euro Vier Jahre ab April 2026"
sdDatePublished: "2026-09-04T11:34:00Z"
source: "https://provendis.info/aktuelles/news/artikelansicht/ultrakurzpulslaser-fuer-die-halbleiterfertigung-der-zukunft"
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  - name: "scientific innovation"
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  - "Germany"
  - "France"
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Lehrstuhl Photonics and Ultrafast Laser Science der RUB und RayVen erhalten EIC Pathfinder-Förderung in Bochum; 3 Mio Euro Vier Jahre ab April 2026

Ultrakurzpulslaser für die Halbleiterfertigung der Zukunft

Ultrakurzpulslaser für die Halbleiterfertigung der Zukunft

Lehrstuhl Photonics and Ultrafast Laser Science der Ruhr-Universität Bochum und Ausgründung RayVen erhalten EIC Pathfinder-Förderung

Mit dem neuartigen Ultrakurzpulslaser im Gigahertz-Burst-Modus bei einer zentralen Wellenlänge von zwei Mikrometern sollen dabei präzisere und qualitativ hochwertigere Strukturen entstehen als mit etablierten industriellen Verfahren. Ziel der Arbeiten ist die Entwicklung eines alternativen oder überlegenen Ansatzes gegenüber konventionellen Verfahren wie dem trockenen reaktiven Ionenätzen (DRIE). Der neue Laserprozess soll präzisere, schnellere und nachhaltigere Siliziumstrukturen ermöglichen und damit neue Perspektiven für leistungsfähigere Elektronik eröffnen. Ein wesentlicher Schwerpunkt des Projekts liegt auf der Überführung in die industrielle Anwendung.

Die RayVen GmbH ist ein Start-up der Ruhr-Universität Bochum und wurde im März 2025 gegründet. Es ist aus dem Lehrstuhl für Photonic and Ultrafast Laser Science der Ruhr-Universität Bochum hervorgegangen und entwickelt leistungsstarke Lasersysteme im kurzwelligen Infrarotbereich. Die zugrunde liegenden Forschungsergebnisse bilden die Basis der gemeinsamen Weiterentwicklung der Technologie durch die Ruhr-Universität Bochum und die Ausgründung RayVen im Rahmen des Projekts. Darüber hinaus sind das französische Centre national de la recherche scientifique (CNRS) sowie die Unternehmen CRYTUR und LASEA an dem Projekt beteiligt.

Für dieses Vorhaben erhält das Konsortium aus dem Lehrstuhl Photonic and Ultrafast Laser Science (RUB), der Ausgründung RayVen sowie CNRS, CRYTUR und LASEA eine Förderung des Europäischen Innovationsfonds EIC Pathfinder in Höhe von insgesamt 3 Millionen Euro für eine Laufzeit von vier Jahren ab April 2026. Dem Konsortium gehören unter anderem Prof. Dr. Clara Saraceno, Leiterin des Lehrstuhls Photonic and Ultrafast Laser Science an der Ruhr-Universität Bochum, sowie Dr. Celia Millon, CEO und Gründerin der Ausgründung RayVen, an.

Das Projekt RayVen wird außerdem gefördert vom Programm EXIST-Forschungstransfer des Bundesministeriums für Wirtschaft und Energie (BMWE). Begleitet wird die Ausgründung zudem durch das Worldfactory Start-up Center der Ruhr-Universität Bochum, das den gesamten Gründungsprozess unterstützt. Das Projekt basiert auf einer von PROvendis betreuten Technologie, deren Weiterentwicklung im Rahmen des vom Land Nordrhein-Westfalen geförderten Hochschulverbunds innovation2business.nrw unterstützt wurde. PROvendis begleitet als zentraler Dienstleister des Verbunds das Vorhaben und unterstützte die Erfinder*innen bereits im Rahmen der Antragstellung zum Förderprogramm EXIST-Forschungstransfer durch eine Technologiefeld- und Marktanalyse. Damit leistet PROvendis einen Beitrag zum Transfer der Technologie in mögliche industrielle Anwendungen.

↗ Lehrstuhl Photonics and Ultrafast Laser Science

↗ Bochumer Laserprojekt erhält begehrte EU-Förderung | Newsportal - Ruhr-Universität Bochum